扫描电镜SEM工作原理
扫描电镜SEM 如何工作?
我们着重讲述扫描电镜SEM。SEM的示意图如图所示。在这种的电子显微镜中,电子束以光栅模式逐行扫描样品。首先,电子由腔室顶端的电子源(俗称灯丝)产生。电子束发射是因为热能克服了材料的功函数。他们随后被加速并被带正电的阳极所吸引。
整个电子腔需要处于真空环境中。像所有的电子显微镜部件一样,为了保持真空并且防止污染、震动和噪声,灯丝被密封在一个特殊的腔室中。真空不仅可以保持灯丝不受污染,也可以让使用者获得高分辨率。如果缺乏真空,其它原子和分子就会存在于腔室中。他们和电子相互作用就会导致电子束偏转,成像质量降低。此外,高真空增加了腔室中探头的电子接收效率。
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