蔡司 500场发射扫描电镜
蔡司场发射扫描电镜
蔡司公司推出的Sigma 500场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计,分辨率超过0.8nm,为您提供高分辨率和好分析性能科研平台。Sigma500专注于一 流的EDS几何学设计使您可以获取精湛的分析性能。借助Sigma直观便捷的四步工作流程可以快速成像、简化分析程序、提高工作效率。您会比以往更快、更多的获取数据。多种探测器的选择使Sigma500可以精 准的匹配您的应用程序:您可以获取微小粒子、表面、纳 米结构、薄膜、涂层和多层的图像信息。
产品应用
扫描电镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳 米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防 治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
技术参数
▪ 分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数:10-1,000,000×
▪ 加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
▪ 探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选)
▪ 低真空范围:2-133Pa(Sigma 500可用)
▪ 样品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
▪ 样品台:5轴优中 心全自动
▪ X=125 mm(可选130mm)
▪ Y=125 mm(可选130mm)
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
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