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FEI QUANTA 400F高性能的场发射扫描电子显微镜
- 型号QUANTA 400F
电子光学系统包含肖特基场发射电子枪,能够提供高亮度大束流,实现无噪音成像
加速电压范围:200V至30KV,束流大于100NA
分辨率:高真空模式下1.2NM@30KV(SE)
低真空模式下1.5NM@30KV(SE)
扩展的真空模式(ESEM)下1.5NM@30KV(SE)
焦距范围:2.5至99毫米
放大倍率:从12倍(长工作距离)至超过200万倍
视野范围:在高、低真空模式下具有同样的视野范围最大工作距离为17毫米
真空系统:配备了涡轮分子泵和预真空泵,具有高真空和低真空模式以及环境扫描电镜(ESEM)模式 。
样品台:具备X-Y移动范围和Z轴调整能力,以及倾斜和旋转功能探测器:包括二次电子探测器、背散射电子探测器等,用于不同的成像和分析需求
软件支持:SMARTSCAN技术、MONTAGE导航自动例程等
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