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ZEISS AURIGA聚焦离子束场发射扫描双束电镜 -
ZEISS AURIGA聚焦离子束场发射扫描双束电镜
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双束系统中场发射扫描电镜主要用于观察分析和记录材料的微观形貌聚焦离子束用来对样品进行在微纳米尺度下的图形沉积、切割、刻蚀、透射样品制备及原子探针针尖加工等工作。
SEM：
分辨率RESOLUTION:1.0NM @ 15KV、1.9NM @ 1KV
放大倍数MAG:12~1000.000X
加速电压EHT:0.1~30KV
FIB：
分辨率RESOLUTION:2.5NM @ 30KV
放大倍数MAG.:300x500,000x
加速电压EHT:1.0~30KV
