ZEISS 1540XB聚焦离子束场发射扫描双束电镜

• 型号1540XB

ZEISS 1540XB CROSSBEAM 拥有一款超高分辨率 GEMINI@ 场发射电子枪，并将高性能聚焦离子束集成到一个系统中。它提供了在FIB操作期间，同时获得SEM-IMAGINATION的可能性。此外该载物台支持机械偏心运动以及偏心旋转和倾斜气体注入系统(5 种气体)提供选择性蚀刻、增强蚀刻、材料沉积或 ISULATOR 沉积。还包括一个用于原位样品处理的显微操作器。还有各种不同的探测器可供使用，如 SE、INLENS、BSE.EBSD (HKL)和 EDX(OXFORD)

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